Comsol Multiphysics Application For Estimating Ozone Concentration In A Chamber With Plane Electrodes

Abstract

Berbagai kajian dan penelitian telah dilakukan terhadap pembangkitan plasma ozon menggunakan Metode Dielectric Barrier Discharge (DBD) dengan kondisi plasma non termal. Metode DBD memiliki berbagai keunggulan seperti distribusi medan listrik yang seragam pada penghalang dielektrik dalam menghasilkan plasma. Dalam studi ini, aplikasi COMSOL Multiphysics digunakan untuk melakukan pemeriksaan plasma ozon dari Ozone Chamber - yang terdiri dari elektroda plat aluminium berlubang dengan salah satu elektroda konfigurasi berlubang yang dipisahkan oleh dielektrik kaca tunggal. Perangkat lunak COMSOL Multiphysics memiliki Modul Plasma yang mencakup parameter elektrostatis, difusi drift, dan transportasi spesies berat untuk menghasilkan pelepasan pada O2 murni dengan keluaran konsentrasi ozon plasma. Dari hasil analisis simulasi diperoleh konsentrasi ozon tertinggi sebesar 3710,476 ppm pada tegangan masukan 8 kV dan konsentrasi terendah sebesar 3682,598 pada tegangan masukan 5 kV. Hal tersebut menunjukkan bahwa tegangan yang diberikan pada elektroda memiliki korelasi linier dengan konsentrasi ozon yang dihasilkan.